Получил заказ на конструирование вакуумной камеры для чистого тех процесса. Там будет откачка до 10-5 бар. После этого, люди хотят контролировать содержание кислорода в камере, с целью вовремя зафиксировать протечку. Есть ли датчики кислорода на такие мизерные уровни?